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φ450mm兼容
碳精密吸力機
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所有碳吸附杯的概述
●該真空吸附杯由碳材料組成，將多孔碳吸附劑與由高強度碳制成的結(jié)構(gòu)組合在一起。
●硅晶片，bg膠帶，模具固定膜和迪士膠帶通過多孔材料吸附。
●平均孔徑在5μm處良好，并且吸附標記不轉(zhuǎn)移。
●中等節(jié)氣門效應(yīng)允許部分吸附。
●即使在惡劣的溫度環(huán)境下，它也不會變形或破裂。
●由于它具有出色的電氣性能，因此有效防止靜電。
這是一個多孔的吸附杯，它充分利用了這些碳的特征。
所有碳吸杯的功能
●晶圓預(yù)防
碳是一個很棒的指揮。
因為收費的可能性較小，所以工件被吸附時會扎根。
它是反對靜電的對策，非常有效，非常適合吸附不喜歡靜電的工件。
涂層（其他規(guī)格）使您可以將表面電阻調(diào)整為給定值。
| 材料 | 多孔碳 | 氧化鋁 | 鋁 |
|---|---|---|---|
| 電阻值（μω?M） | 100 | > 1x10 12 | 2.6 x 10 -2 |
●與高溫環(huán)境兼容
通過制造由碳制成的所有零件材料，我們大程度地提高了碳的優(yōu)秀熱性能。
耐熱溫度在大氣中為250°C，在惰性氣體中為900°C。
它具有較高的耐熱性，即使加熱或淬火也不會破裂。
因為它是由相同材料制成的，所以由于熱膨脹差異而導(dǎo)致的準確性不太可能發(fā)生，并且尺寸穩(wěn)定性非常好。
●輕巧減輕了設(shè)備的負擔
多孔碳的低密度為1.2g/cm3。
與陶瓷吸杯相比，它可以減輕重量約40％。
通過減輕重量，它不僅可以在設(shè)備設(shè)計中提供更多的自由度，而且
還通過簡化組件為設(shè)備制造成本提供了更多好處。
| 材料 | 多孔碳 | 氧化鋁 | 鋁 |
|---|---|---|---|
| 通量密度（g/cm 3） | 1.2 | 3.6 | 2.8 |
| 粘合表面尺寸（mm） | 吸附杯厚度（mm） | 重量（g） | 圖像 |
|---|---|---|---|
| φ200 | 12 | 750 |  |
| φ300 | 12 | 1580 |  |
| φ450 | 20 | 5660 |  |
